幹式螺杆真空泵的主要特點是:
1.放電路徑短，可以有效減少反應物的沉積。與其他真空泵相比，幹式螺旋真空泵由於(yú)泵送過程中氣體傳(chuán)輸路徑較短，不太容易沉積反應物。
2.線性密封好，泵送性能好，zhuanli轉子線性密封，轉子密封好，較大齧合間隙下泵送效果快。由於(yú)齧合間隙大，泵的泵壓不易因工藝氣體沉積而卡死，因此轉子不易因磨損而更換(huàn)。
幹式螺杆真空泵是利用一對變(biàn)螺距螺杆在泵殼内高速同步反向旋轉而産生的抽排氣裝置。兩個螺杆通過精密動平衡調整，由軸承支撐，安裝在泵殼内，兩者之間有一定間隙。因此，泵工作時，它們之間沒有摩擦，運行穩定，噪音低，工作室不需要潤滑油。因此，變(biàn)螺距幹式螺杆泵具有較大的泵送能力，並(bìng)且能夠泵送掉包含大量水蒸氣和灰塵的過程材料。
其主要性能特點:
1.結構簡單緊湊(còu)，由旋轉反向螺杆、泵體、端蓋、密封等部件組成，簡單可靠，在使用壽命長(zhǎng)的情況下幾乎不需要定期維護。
2.幹(gàn)式運行，無任何工質，因此無油污，無污水排放，節能減(jiǎn)排效果顯著。
3.原泵室無摩擦磨損(sǔn)，泵體之間(jiān)有一定間(jiān)隙。
4.泵運轉時(shí)，機(jī)體噪音低，泵送能力大。
