目前，各種真空泵的發展越來越受到真空應用的影響，一般真空系統不能滿足清潔無油的耐腐蝕要求，近年來幹螺杆真空泵市場(chǎng)需求量大，真空獲得産(chǎn)品已經更新，大量有油真空系統已經被無油清潔真空系統所取代。
國外幾乎每個大型真空公司都生産各種類型的幹螺杆真空泵。螺旋真空泵屬於非接觸式幹式泵，是20世紀90年代初出現的理想泵種。它具有抽氣範圍廣、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優點。然而，它的制造技術大多在國外掌握。中國還處於起步階段，市場上有幹式泵。
目前，各種真空泵的發展越來越受到真空應用的影響，一般真空系統不能滿足清潔無油的耐腐蝕要求，近年來幹螺杆真空泵市場(chǎng)需求量大，真空獲得産(chǎn)品已經更新，大量有油真空系統已經被無油清潔真空系統所取代。
國外幾乎每個大型真空公司都生産各種類型的幹螺杆真空泵。螺旋真空泵屬於非接觸式幹式泵，是20世紀90年代初出現的理想泵種。它具有抽氣範圍廣、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優點。然而，它的制造技術大多在國外掌握。中國還處於起步階段，市場上有幹式泵。
一、幹螺杆真空泵的現狀。
由於其優異的性能，幹式幹螺杆真空泵在歐美和日本已成爲微電子、半導體、制藥、靜谧加工等行業的初選。在螺杆壓縮機的基礎上，日本很早就開發出瞭真空泵的多頭轉子線，並投入市場。德國幾家真空設備公司也逐漸開發出等螺距、變螺距的轉子線，並對轉子和機體的冷卻進行瞭大量的研究。
二、螺旋泵技術關鍵問題：
1.幹螺杆泵結構：
螺旋真空泵的結構主要由螺旋轉子、外殼、冷卻循環和密封材料組成。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪驅動從動轉子的旋轉，在外殼上打開冷卻水通道，用於冷卻轉子和排氣口的溫度，同步齒輪和軸承油潤滑。軸承和外殼内部通過密封密封，達到無油效果。幹螺旋真空泵與無油螺旋壓縮機在密封和潤滑方面結構相似。一般真空泵的排氣端採用機械密封，進氣端採用雙唇密封。在傳動方式上，目前使用的是直連電機，很少使用皮帶或鏈傳動。
螺距螺杆泵由於(yú)沒有内壓過程，排氣溫度非常高(110度左右)。如果冷卻效果不好，轉子和外殼會變形，影響哭泣效果。因此，冷卻外殼是必不可少的一環，水冷是一種常見的方法。在外殼本體，軸承外側通過冷卻水，可以達到冷卻外殼和冷卻轉子的目的。萊寶公司在轉子内部通水冷卻，延長瞭(le)轉子的使用壽命，達到瞭(le)良好的冷卻效果。然而，這種結構設計(兩級)需要一定的技術和加工水平支撐。
由於(yú)水冷有時無法達到冷卻效果，因此通常在靠近排氣端轉子的地方通冷卻氣體(多爲氮)。目前國外主流幹螺杆真空泵都採(cǎi)用這種方法。該方法具有冷卻轉子外殼、降低排氣溫度等優點；其次，當氣體中含有微粒時，可防止微粒沉積或化學反應引起爆炸。
2.國内外公司幹(gàn)真空泵生産(chǎn)概況。
(1)塔海爾公司的KDP和SDV系列幹螺杆真空泵。塔海爾公司收購瞭(le)凱尼真空公司。凱尼是美國從事真空獲取設備的專業制造公司，在幹螺杆真空泵的制造中也處於(yú)世界地位。KDP系列是等螺距轉子的真空泵，SDV是變螺距螺杆泵，兩者都是水冷系統，風冷系統可供選擇。SDV是在KDP的基礎上進行的改進。變螺距螺杆泵可以實現氣體内壓縮，降低排氣溫度，同比節能百分之三十。轉子上塗有NiFlon，即層是Ni，二層是PFA。即使PFA磨損，Ni層也可以防腐，同時使用Kalrez全氟橡膠密封圈。SDV系列是凱尼公司推出的幹螺杆真空泵。
(2)德國萊寶公司於(yú)2002年底正式推出的SREWTINE系列螺杆式無油壓縮真空泵是一種專爲工業應用(非半導體應用)而設計的幹式泵，是一種全新的設計，專門用於(yú)解決工業應用中的真空問題。比如灰塵，焦油等等。這種泵也採(cǎi)用螺距轉子，有内壓過程，泵腔内無内閥，因此具有很強的抗粉塵和焦油能力，該泵的螺杆採(cǎi)用内空冷卻，可降低轉子溫度和熱變形，從而延長螺杆的使用壽命。
(3)德國徐浦公司的COBRAN系列螺杆泵是制造工藝的真空泵，特别适合化工和制藥行業的各種工藝流程。徐浦是世界上真空泵、鼓風機和壓縮機的供應商之一。真空泵質量高。與其他制造商相比，它在歐洲的市場(chǎng)份額(é)較高，價格昂貴。
(4)德國裏奇樂的VSA/VSB系列。VSA是等螺距轉子，市場評價好，性能穩定。VSB系列事件螺距轉子設計(非線形齒形設計)可以通過内壓改變(biàn)泵的功耗和排氣溫度，而不需要兩級壓縮就可以實現高真空度。在密封方面做瞭(le)改進。靜态密封元件優選PTFE或添加PTFE密封，動态密封元件在真空泵吸入側使用雙密封唇，真空泵排氣側使用簡單的密封圈，防止固體物質進入泵。
(5)日本制造商。在日本，幹螺杆真空泵的應用非常廣泛，半導體和LCD行業得到瞭(le)廣泛的應用，大搖株式會社的吉村将士等很早就在單頭等螺杆轉子方面申請瞭(le)zhuanli，並(bìng)對其進行瞭(le)深入研究。早些時候，日立公司對螺杆泵進行瞭(le)研究。
三、是研究未來展望：
國内幹式幹螺杆真空泵的研究還處於(yú)起步階段，許多技術問題尚未解決。例如，轉子塗層的防腐技術仍然很難降低排氣口的溫度，提高轉子面積的利用率。當提取一些活性氣體時，由於(yú)排氣溫度高，性能也需要在設計中考慮。在需要控制音量的情況下，如何降低噪音将成爲研究方向，但其優異的性能決定瞭(le)它在真空設備行業的主到地位，就像螺杆壓縮機在行業中的主到地位一樣。
1.幹螺杆真空泵的現狀。
由於其優異的性能，幹式幹螺杆真空泵在歐美和日本已成爲微電子、半導體、制藥、靜谧加工等行業的初選。在螺杆壓縮機的基礎上，日本很早就開發出瞭(le)真空泵的多頭轉子線，並(bìng)投入市場。德國幾家真空設備公司也逐漸開發出等螺距、變螺距的轉子線，並(bìng)對轉子和機體的冷卻進行瞭(le)大量的研究。
2.螺旋泵技術關鍵問題：
幹螺杆泵結構：
螺旋真空泵的結構主要由螺旋轉子、外殼、冷卻循環和密封材料組成。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪驅動從動轉子的旋轉，在外殼上打開冷卻水通道，用於(yú)冷卻轉子和排氣口的溫度，同步齒輪和軸承油潤滑。軸承和外殼内部通過密封密封，達到無油效果。幹螺旋真空泵與無油螺旋壓縮機在密封和潤滑方面結構相似。一般真空泵的排氣端採(cǎi)用機械密封，進氣端採(cǎi)用雙唇密封。在傳動方式上，目前使用的是直連電機，很少使用皮帶或鏈傳動。
螺距螺杆泵由於(yú)沒有内壓過程，排氣溫度非常高(110度左右)。如果冷卻效果不好，轉子和外殼會變形，影響哭泣效果。因此，冷卻外殼是必不可少的一環，水冷是一種常見的方法。在外殼本體，軸承外側通過冷卻水，可以達到冷卻外殼和冷卻轉子的目的。萊寶公司在轉子内部通水冷卻，延長瞭(le)轉子的使用壽命，達到瞭(le)良好的冷卻效果。然而，這種結構設計(兩級)需要一定的技術和加工水平支撐。
由於(yú)水冷有時無法達到冷卻效果，因此通常在靠近排氣端轉子的地方通冷卻氣體(多爲氮)。目前國外主流幹螺杆真空泵都採(cǎi)用這種方法。該方法具有冷卻轉子外殼、降低排氣溫度等優點；其次，當氣體中含有微粒時，可防止微粒沉積或化學反應引起爆炸。
國内外公司生産(chǎn)幹(gàn)螺杆真空泵概況。
