螺旋真空泵在使用中經常要用氮氣來填充，主要是因爲用氮氣吹淨泵，能夠延緩泵的腐蝕性氣體的腐蝕，從而起到很好的保護作用。
爲什麽螺旋真空泵要使用氮氣，可以歸納如下幾個原因：
1.螺杆真空泵内沖入氮氣的目的是在真空泵的内壁形成微弱的保護氣膜，氮氣的壓力不能太大，也不能太小，過大會影響抽真空效果，增加能耗；
2.抽腐蝕性氣體的泵使用氮氣，氮氣吹淨(jìng)泵，延緩(huǎn)泵的腐蝕性氣體腐蝕。
在真空鍍(dù)膜過程中使用的某些氣體對(duì)螺杆真空泵有腐蝕作用，所以将使用這種泵。但牆内通氮與泵用的是分開的。
4.沖(chōng)氮單(dān)位數時，可塗出所需顔色。一些顔色使用乙炔。實際上，大多數情況下使用的是氩。
5.氣(qì)密性，稀釋工藝氣(qì)體。防腐蝕(shí)和貼合工藝。
6.氮氣在特定溫度、壓力或催化劑等輔(fǔ)助條件下，很難與外界反應。所以在清洗泵系統時，採(cǎi)用氮氣吹掃，更加安全可靠。
7.氮氣吸附熱小，在物體表面吸附的時間短。在螺杆真空泵中，當(dāng)氮氣被吸附在器壁表面時，很容易被抽除。在真空系統清潔過(guò)程中，氮氣淨
化正式利用其這一特性。用幹氮氣吹掃清洗過真空系統後，在真空鍍膜中，氮分子将首先吸附在真空系統的器壁上。因爲器壁表面的吸附位是一定的，氮氣分子沾滿以後，其他分子如水分子等将變(biàn)少。從而大大縮短瞭(le)真空系統的抽氣時間。
氮是一種穩定、無害的氣體，可以對(duì)螺杆真空泵起到良好的保護作用，有效延長(zhǎng)使用壽命，減緩腐蝕問題。
