幹式螺杆真空機組根據不同的工藝和工況有不同的配置，機組配置詳細介紹如下：
1、粉塵(chén)過濾器，過濾氣體中顆粒及粉塵(chén)，避免進入泵内造成損壞。濾芯爲不鏽鋼金屬網折疊(dié)濾芯，過濾精度根據不同環境選定，可以拆卸、清洗，循環使用
2、進氣氣動(dòng)球閥，中線對夾式氣動(dòng)球閥；雙作用氣動(dòng)執行機構：220v兩位五通電(diàn)磁閥 ，開關型 ，機械式限位開關。
3、 溫度變(biàn)送器，用於(yú)傳感排氣口溫度。
4、壓差表及壓力變(biàn)送器，檢測過濾器濾芯堵塞情況，壓差表用於(yú)現場顯示；
壓差變送器用於(yú)數據輸出過濾器進出氣口壓差過大時用於(yú)應及時清理濾芯，運行中壓差要求小於(yú)2kpa（建議根據使用過程中確(què)定該值）。
5、夾套式水冷卻系統： 功能：通過外接的冷卻水将真空泵壓縮過程中産(chǎn)生的熱量帶走，從(cóng)而降低泵腔溫度。
6、氮氣吹掃及氮氣保護(hù)系統，用於(yú)泵腔吹掃和機械密封保護(hù)。
7、控制系統，用於(yú)對(duì)整個系統進行控制。
8、根據(jù)不同工藝還(hái)可配套冷凝、消音器、回收罐、尾凝系統等等配置。
9、還(hái)可以和羅(luó)茨泵配合使用。
